掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。
掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣_上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。
掃描電鏡主要可以分為三個(gè)部分:
a.電子光學(xué)系統(tǒng)
作用:是用來獲得很細(xì)的電子束(直徑約幾個(gè)nm)，作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。
b.信號(hào)收集處理，圖像顯示和記錄系統(tǒng)
作用:收集(探測(cè))樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號(hào)，并進(jìn)行放大；將信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)輸出的調(diào)制信號(hào)轉(zhuǎn)換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像，供觀察或記錄。
c.真空系統(tǒng)
作用:保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，避免燈絲壽命快速下降。
需要提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
